無塵車間
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無塵車間淨化工(gōng)程之定義為將一定空間範圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌(jun1)等之汙染物排除,並將室內之溫濕度(dù)、潔淨度、室內壓(yā)力(lì)、氣流速度與(yǔ)氣流分布(bù)、噪音震動及照明、靜電控製在(zài)某一需求範圍內,而所給(gěi)於特別設計之(zhī)密閉空間。
無塵車間淨化工程(chéng)亦名無塵室或清淨室,目前已是半導體、精密製造、液晶製造、光學製造、線路板(bǎn)製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由於技術之創新發展,對於產品的高精密度(dù)化、細小型化之需求更(gèng)為迫切(qiē),如超大型積體電路之研究(jiū)製造,已成為世界各國在科技發展(zhǎn)上極為重視(shì)的項目。
無塵車間淨化工程一般包括:
1、 潔淨生產區
2、 潔淨輔(fǔ)助間(包括人員(yuán)淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等)
3、 管(guǎn)理區(包括(kuò)辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括淨化空(kōng)調係統應用(yòng)、電氣用房(fáng)、高純水和(hé)高純氣用(yòng)房、冷熱設備用房(fáng))
無塵車間淨化工程淨化原理
氣流(liú)→初效淨化→空調→中效淨化→風機送風→管道→高效淨(jìng)化風口→吹入(rù)房(fáng)間→帶(dài)走塵埃細菌
等顆粒 → 回風百葉窗→初效(xiào)淨化 重複以上過(guò)程,即可達到淨化目的。
無塵車間淨化(huà)工程淨化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房(fáng)間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為(wéi)宜(yí);電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是(shì)總送(sòng)風(fēng)量(liàng)的10%-30%;照度300LX。
一般潔淨度等級說明:
等數ISO空(kōng)氣潔淨 | 大於或等於(yú)表中粒徑的最大濃(nóng)度限值(P/m -空(kōng)氣) | 潔淨(jìng)等級美國聯邦(bāng)209E | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
ISO Class1 | 10 | 2 | |||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
ISO Class7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
ISO Class8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
ISO Class9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 300000 |