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淨化工程
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淨(jìng)化工(gōng)程:控(kòng)製產品 (如矽芯片、電子工業、半導體、集成電路等) 所接觸大氣的潔淨度及溫濕度,使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生(shēng)產(chǎn)、製造。此環境空間的設計施(shī)工過程即(jí)可稱(chēng)為淨化工程。
原理
折疊亂流潔(jié)淨室
亂流潔淨室的主要特點是從來流到出流(從送風口到回(huí)風口)之間氣流的流通截麵是(shì)變化(huà)的,潔淨(jìng)室截麵比送風口截麵大得(dé)多,因而不(bú)能在全室截麵或者在全室工作區(qū)截麵(miàn)形成勻速氣(qì)流。所以,送風口以後的流線彼此有很大或者越來越(yuè)大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內不(bú)可能(néng)以單一方向流動,將會彼此(cǐ)撞擊,將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔(jié)淨室的流(liú)態實質是:突變流;非均勻流。
折疊單向流(liú)潔淨室
單向流潔淨室一般有兩種類型,即(jí)水平流和垂直流。在水平流係統中,氣(qì)流是從一麵牆流向另一麵牆。在垂直流係統中,氣流是從吊頂流向地麵。對要求潔淨室的懸(xuán)浮粒子濃度(dù)或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以(yǐ)前稱這類(lèi)潔淨室為"層流"潔淨室。單向(xiàng)流(liú)和層流的名稱(chēng)均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),並以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(miǎo)(60英尺/分(fèn)鍾至100英尺/分鍾)的均速流過整個空間。由(yóu)滿布潔淨室吊頂的高效過濾器向室內送(sòng)風(fēng)。氣(qì)流有如一個空氣活塞,向下流經室內,帶走汙染物,然後從地麵排出。又在與外部的一些新(xīn)鮮空氣混合後,再循環至高效過濾器。人(rén)員和工藝所產(chǎn)生的懸浮汙(wū)染可立即被這(zhè)種空氣清除掉,而紊流通風(fēng)係統采用的是混合與(yǔ)稀釋原理
空(kōng)氣潔淨度
經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔淨標準和規範(fàn)標準,都規定了有關的(de)潔淨度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國於1984年頒布《潔淨廠房設計規範》(GBJ73-84),1996年該規範進行(háng)了較大的修改,1990年頒布《潔淨室施工及驗(yàn)收規範》(JGJ71-90)以指(zhǐ)導施工和驗收的重要文件。該規範在重新修訂中。
一般潔(jié)淨度等級說明:
等數ISO空氣潔淨 | 大於或(huò)等於表中粒徑的最大濃度限值(zhí)(P/m -空氣) | 潔淨等(děng)級美國聯邦209E | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
ISO Class1 | 10 | 2 | |||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
ISO Class7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
ISO Class8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
ISO Class9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 300000 |
行業應用
淨化工程是一個(gè)應用行業非常廣(guǎng)泛的基(jī)礎性配套(tào)產業,(21世紀)在電子信息、半導體、光電子(zǐ)、精密製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗等眾多行業均有應用,並根據行業的精密與無塵要求,等級差別也較大。
目前級別最高的當屬航天航空的航空倉,基本是屬於1級,屬於特殊領域,麵積相對較小。淨化車(chē)間另外對級別要(yào)求較高的是生(shēng)化實驗室和高精納米材料生產車間,物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
隨著電子元器件向微小化方向發展,液晶麵板已經升級至第八代(dài),行業需求非常巨。