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無塵室
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無(wú)塵室(Clean Room),亦稱為無塵室(shì)或清淨室。它是汙染控製的(de)基礎。控製空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔淨(jìng)度級別。無塵室是指將一定空(kōng)間範圍內之空氣中(zhōng)的微粒(lì)子、有害空氣、細菌等之汙染物(wù)排除,並(bìng)將室內(nèi)之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與(yǔ)氣流分布、噪音振動及(jí)照明、靜電控製(zhì)在某一需求範圍內(nèi),而所給予特別設計之(zhī)房間。
無塵(chén)淨化級別主要是根據每立(lì)方米空氣中粒子(zǐ)直徑大於劃分標(biāo)準的粒子數量來(lái)規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵,而是控製(zhì)在一個非常微量的(de)單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒對於婷婷五月综合缴情在线视频(men)常見的灰塵已經是小的微(wēi)乎其微,但是對於光學構造而言,哪怕是(shì)一(yī)點點的灰塵(chén)都(dōu)會產生非常大的負麵影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求(qiú)。
如表所示(shì),每立方米將小於0.5微米粒徑的微塵(chén)數量控製在3500個以下,就達到了(le)國際無塵標準的(de)A級。目前應用在芯片級生產加工(gōng)的無塵標準對於灰塵的要求高於(yú)A級,這樣的高標主要被應(yīng)用在一(yī)些等(děng)級較高芯片生產上。微(wēi)塵數量被嚴格控製在每(měi)立方(fāng)米1000個以(yǐ)內,這也就是業內俗稱的1K級(jí)別。
相(xiàng)關概念
⑴、自淨時間(jiān):是指無塵室按設計換氣次數(shù)開(kāi)始(shǐ)送(sòng)風到無塵室(shì),室內含(hán)塵濃度達到(dào)所設計的淨化級別的時間(jiān)。1,000級希(xī)望不超過20min(分鍾) (可取15min計(jì)算) 10,000級希望不超過30min(分鍾) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鍾) (可取30min計算)
⑵、換(huàn)氣次數(按上述自淨時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小(xiǎo)時 (規範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) (規範(fàn):15次(cì)/小時)
用途分類
⑴ 、工業無(wú)塵室
——以無生命微粒的控製(zhì)為對象。主要控製空氣塵埃(āi)微粒對(duì)工作對象的汙染,內部一般保持正壓(yā)狀態。它適用於精密機械工業、電(diàn)子工業、半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工(gōng)業、光磁產品工業(光(guāng)盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦(nǎo)硬盤、電腦磁頭生產等(děng)多行業。
⑵、生物無塵室(shì),
主要控製有生命微粒(細菌)與無生命微粒(lì)(塵埃)對工作對象的汙(wū)染。又可分為;
A、 一般生物無塵室,主要控製微生物(細菌)對象的汙染。同(tóng)時其內部材(cái)料要能經受(shòu)各(gè)種(zhǒng)滅菌(jun1)劑侵蝕,內部一般保證正壓。實質上其內部(bù)材料要能經受各種(zhǒng)滅菌處理的工業無(wú)塵室。例(lì):製藥工業、醫院(yuàn)(手術室、無菌病房)食品、化(huà)妝(zhuāng)品、飲料產品生產、動物室驗室、理化檢驗室(shì)、血站等(děng)。
B、 生(shēng)物學安全無塵室:主要控製工作(zuò)對象的有生命微粒對外界和人的汙染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌、生物學、潔淨實驗(yàn)室(shì)、物物工程(重組基因、疫苗製備)
一般潔淨(jìng)度等級說明:
等數ISO空氣潔淨 | 大於或等於表中粒徑的最大濃度限值(P/m -空氣(qì)) | 潔淨等級美國聯邦209E | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
ISO Class1 | 10 | 2 | |||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO Class3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
ISO Class4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
ISO Class5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
ISO Class6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
ISO Class7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
ISO Class8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
ISO Class9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 300000 |